Abstract

Microscopia ionică de transmisie cu scanare (STIM) a fost aplicată pentru a măsura randamentele de pulverizare a foliei Kovar subțiri. Rezultatele au fost găsite în acord foarte bun cu valorile determinate de metoda pierderii în greutate, demonstrând STIM ca o tehnică de măsurare alternativă fezabilă pentru estimarea randamentului prin pulverizare a probelor de material subțire. Măsurătorile au fost efectuate sub incidența normală a ionului xenon pentru energiile ionice cuprinse între 100 eV și 1000 eV. În plus, sunt raportate producțiile de pulverizare a probelor vrac Kovar. Datele ar putea fi interesante pentru aplicații cu fascicul de ioni, cum ar fi propulsia electrică solară, în care materialele cu randamente scăzute de pulverizare sunt preferate pentru a asigura o durată de viață operațională lungă a componentelor sistemului.

prin

Aceasta este o previzualizare a conținutului abonamentului, conectați-vă pentru a verifica accesul.

Opțiuni de acces

Cumpărați un singur articol

Acces instant la PDF-ul complet al articolului.

Calculul impozitului va fi finalizat în timpul plății.

Abonați-vă la jurnal

Acces online imediat la toate numerele începând cu 2019. Abonamentul se va reînnoi automat anual.

Calculul impozitului va fi finalizat în timpul plății.

Referințe

R. Behrisch, W. Eckstein, Sputtering by Particle Bombardment: Experiments and Computer Calculs from Threshold to MeV Energies, în Subiecte în fizică aplicată (Springer, 2007)

M. Tartz, T. Heyn, C. Bundesmann, C. Zimmermann, H. Neumann, Eur. Fizic. J. D 61, 587 (2011)

E. Oyarzabal, J.H. Yu, R.P. Doerner, G.R. Tynan, K. Schmid, J. Appl. Fizic. 100, 063301 (2006)

A.P. Yalin, J.D. Williams, V. Surla, K.A. Zoerb, J. Phys. D 40, 3194 (2007)

R.P. Doerner, D.G. Whyte, D.M. Goebel, J. Appl. Fizic. 93, 5816 (2003)

S. Bhattacharjee, J. Zhang, V. Shutthanandan, P.K. Ray, N.R. Shivaparan, R.J. Smith, Nucl. Instrum. Metode Phys. Rez. B 129, 123 (1997)

P.C. Zalm, J. Appl. Fizic. 54, 2660 (1983)

C.H. Weijsenfeld, Phillips rapoarte de cercetare supl. Nu. 2 (1967)

D. Rosenberg, G.K. Wehner, J. Appl. Fizic. 33, 1842 (1962)

R.D. Kolasinski, M.M. Gardner, M.L. Johnson, P.J. Wilbur, în Lucrările celei de-a 41-a conferințe comune de propulsie AIAA/ASME/SAE/ASEE, Tucson, 2005, lucrare AIAA-2005-3526

J.D. Williams, în Lucrările celei de-a 28-a Conferințe internaționale de propulsie electrică, Toulouse, 2003, lucrare IEPC-2003-130

J.J. Blandino, D.G. Goodwin, C.E. Garner, în Lucrările celei de-a 32-a conferințe comune de propulsie AIAA/ASME/SAE/ASEE, Lacul Buena Vista, 1996, lucrare AIAA-96-3203

E. Oyarzabal, R.P. Doerner, M. Shimada, G.R. Tynan, J. Appl. Fizic. 104, 043305 (2008)

M. Tartz, H. Neumann, Procese plasmatice și polimeri 4, S633 (2007)

R.D. Kolasinski, J.E. Polk, D. Goebel, L.K. Johnson, Appl. Surface Sci. 254, 2506 (2008)

J.D. Williams, M.L. Johnson, D.D. Williams, în Lucrările celei de-a 40-a conferințe comune de propulsie AIAA/ASME/SAE/ASEE, Fort Lauderdale, 2004, lucrare AIAA-2004-3788

B. Rubin, J.L. Topper, A.P. Yalin, J. Phys. D 42, 205205 ​​(2009)

M. Tartz, T. Heyn, C. Bundesmann, H. Neumann, în Lucrările celei de-a 31-a conferințe internaționale de propulsie electrică, Ann Arbor, 2009, lucrare IEPC-2009-240

A.P. Yalin, B. Rubin, S.R. Domingue, Z. Glueckert, J.D. Williams, în Lucrările celei de-a 43-a conferințe comune de propulsie AIAA/ASME/SAE/ASEE, Cincinnati, 2007, lucrare AIAA-2007-5314

Y. Garnier, V. Viel, J.F. Roussel, J. Bernard, J. Vacuum Sci. Tehnologie. 17, 3246 (1999)

J. Zhang, S. Bhattacharjee, V. Shutthanandan, P.K. Ray, J. Vacuum Sci. Tehnologie. 15, 243 (1997)

H.W. Lefevre, R.M.S. Schofield, G.S. Bench, G.J.F. Legge, Nucl. Instrum. Metode Phys. Rez. B 54, 363 (1991)

W. Eckstein, J. Biersack, Nucl. Instrum. Metode Phys. Rez. B 2, 550 (1984)

J.P. Biersack, W. Eckstein, Appl. Fizic. A 34, 73 (1984)

R. Sealock, A. Mazzolini, G. Legge, Nucl. Instrum. Metode. Fizic. Rez. B 218, 217 (1983)

J. Overley, R. Conolly, G. Sieger, J. MacDonald, H. Lefevre, Nucl. Instrum. Metode. Fizic. Rez. B 218, 43 (1983)

J. Ziegler, J. Biersack, U. Littmark, Oprirea și gama ionilor în solide (Pergamon Press, 1985)

D. Spemann și colab., Nucl. Instrum. Metode Phys. Rez. B 269, 2175 (2011)

W. Eckstein, Raport IPP 9/132 (MPG, Garching, 2002)

J. Lindhard, M. Scharff, Phys. Rev. 124, 128 (1961)

O.S. Oen, M.T. Robinson, Nucl. Instrum. Metode 132, 647 (1976)

W.D. Wilson, L.G. Haggmark, J.P. Biersack, Phys. Rev. B 15, 2458 (1977)

Y. Kudriavtsev, A. Villegas, A. Godines, R. Asomoza, Appl. Surf. Știință. 239, 273 (2005)

J. Bohdansky, Nucl. Instrum. Metode Phys. Rez. B 2, 587 (1984)

C. Garcia-Rosales, W. Eckstein, J. Roth, J. Nucl. Mater. 218, 8 (1994)

M. Tartz, E. Hartmann, H. Neumann, Rev. Știință. Instrum. 79, 020000 (2008)